對(duì)來(lái)?yè)P(yáng)電氣真空度測(cè)試儀采用磁控放電法的深度剖析
漏電電流的處理,對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這此漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,并且在數(shù)值上與10E- 4Pa 數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
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