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對(duì)來(lái)?yè)P(yáng)電氣真空度測(cè)試儀采用磁控放電法的深度剖析

對(duì)來(lái)?yè)P(yáng)電氣真空度測(cè)試儀采用磁控放電法的深度剖析
真空度測(cè)試儀采用磁控放電法進(jìn)行測(cè)量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離,施加電場(chǎng)脈沖高壓,將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣,在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下,滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管型號(hào)(管型),由于其結(jié)構(gòu)不同,在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下,離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室,這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理,提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。真空度測(cè)試儀將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距,施加脈沖高壓,將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng),這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。
漏電電流的處理,對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí),會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這此漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性,并且在數(shù)值上與10E- 4Pa 數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
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